退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。其实零部件对炉内气氛的要求很高，一般要求残氧量在10ppm以下露点在-40度以下。铜管退火炉炉内气氛的好坏取决于炉子自身的气密性。通常在热处理炉装置结束后，要对炉壳的气密性做打压实验，以确保炉子的气密性。但在今后的生产过程中，由于热胀冷缩，炉体钢结构振动、检修拆装设备、密封件损坏、设备损坏等要素会导致炉壳出现局部泄漏。假如这些漏点没有被及时发现和有效封堵，就会导致热处理炉气密性变差，使炉内的残氧量升高，而影响产品外表质量。
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铜管退火炉内的保护气体由氮气和氢气依照恰当比例混合而成，起着还原零部件和避免氧化的效果，其主要参数指标有氢气比例露点、残氧量等残氧量的影响
1）能在低温区富集，或许会在条件适合时与氢气发作剧烈反响；
2）对零部件外表构成选择性氧化，构成色差等；
3）对炉内耐火材料发生氧化危害，缩短资料的使用周期。
改善铜管退火炉炉内气氛的办法
1）建立退火炉气密性查看准则
2）确认气密性查看的重点部位
3）确认检测时间、频率、职责和确认人
以上就是对于铜管退火炉炉内气氛的改进方法分析，也是说到了他们的影响机理，希望能够引起大家的注意。
